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H94-25C型（LED）4″单面光刻机
品牌：&&&SVC
型号：&&&H94-25C型（LED）
市场价：&&& 元
优惠价：&&& 元 (已有 0 人购买)
主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、声表面波器件的研制和生产。
由于本机找平机构先进，找平力小、使本机不仅适合硅片、玻璃片、陶瓷片、宝石片的曝光，而且也适合易碎片如砷化钾、磷化铟等基片的曝光以及非圆形基片和小型基片的曝光。
&&&& 主要由高精度对准工作台、双目分离视场CCD显微显示系统、多点光源（蝇眼）曝光头、PLC电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。
多点光源（蝇眼）
可调光强的光栏
&三点找平机构&
高精度X、Y、Z、Q 调节机构
&主要功能特点
1.适用范围广
&&& 适用于Φ100mm以下(最小尺寸为Φ5mm)，厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的对准曝光。
2.分辨率高
&&& 采用高均匀性的多点光源（蝇眼）曝光头，非常理想的三点式自动找平机构和稳定可靠的真空密着装置，使本机的曝光分辨率大为提高。
3.套刻精度高、速度快
&&& 采用版不动片动的下置式三层导轨对准方式，使导轨自重和受力方向保持一致，自动消除间隙；承片台升降采用无间隙滚珠直进导轨、气动式Z轴升降机构和双簧片微分离机构，使本机片对版在分离接触时漂移特小，对准精度高，对准速度快，从而提高了版的复用率和产品的成品率。
4.可靠性高
&&& 采用PLC控制器、进口电磁阀和按钮、独特的气动系统、真空管路系统和经过精密机械制造工艺加工的零件，使本机具有非常高的可靠性且操作、维护、检修简便。
5.特设“碎片”处理功能&
&&& 解决非圆形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分离不开所引起的版片无法对准的问题。
主要技术指标
1．曝光类型：单面；
2．曝光面积：110×110mm；★
3．曝光照度不均匀性：≤3%；★
4．曝光强度：≥40mw/cm2可调；★
5．紫外光束角：≤3˚；★
6．紫外光中心波长：365nm、404nm、435nm可选：
7．紫外光源寿命：≥2万小时；
8．曝光分辨率：1μm；
9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光；
10．显微镜扫描范围：X：±40mm&& Y：±40mm；★
11．对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm；Q粗调±15°，细调±3°；★
12．套刻精度：1μm；★
13．分离量；0～50μm可调；★
14．接触－分离漂移：≤1μm；★
15．曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光；
16．找平方式：三点式自动找平；★
17．显微系统：双视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜1.1X～7.5X连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器；★
18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″；★
19．基片尺寸：φ2、φ3、φ4；★
20．基片厚度：≤5 mm；
21．曝光定时：0～999.9秒可调；
22．对准方式：切斯曼对准机构。★
23．曝光头转位：气动；
24. 电源：单相AC220V &50HZ&，功耗≤1KW；
25．洁净空气压力：≥0.4MPa；
26．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa；
27．尺寸：&920mm（长）×680mm（宽）×1600mm（高）；
28．重量：约180Kg。&
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[ 个体经营 ] [ 贸易型, 服务型 ]
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[ 2016年9月 ]
[ 合资经营企业(港或澳、台资) ] [ 服务型 ]
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主营：RF电源, 等离子设备, 匹配器...
[ 江苏　扬州 ]
[ 2016年8月 ]
[ 有限责任公司 ] [ 生产型, 贸易型 ]
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[ 2016年5月 ]
[ 私营独资企业 ] [ 生产型 ]
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[ 2016年3月 ]
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[ 湖北　武汉 ]
[ 2016年2月 ]
[ 私营股份有限公司 ] [ 生产型 ]
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主营：激光打标机, 激光焊接, 激光切割机, 激光雕刻机, 激光内雕机, 工业激光设备...
[ 广东　深圳 ]
[ 2016年1月 ]
[ 私营独资企业 ] [ 生产型, 服务型 ]
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[ 2015年9月 ]
[ 私营有限责任公司 ] [ 生产型 ]
简介：东莞市启天等离子清洗机科技公司,台湾等离子清洗机设备广泛应用于LED、LCD、LCM、手机天钱、手提电脑按键及外壳, C...
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[ 广东　东莞 ]
[ 2015年8月 ]
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简介：重庆锐铭扬激光科技有限公司，位于重庆市渝北区，是一家专业从事工业标记设备研发、生产和销售为一体的高新技术企业。　　“锐铭...
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[ 2014年8月 ]
[ 个体经营 ] [ 贸易型 ]
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[ 2014年7月 ]
[ 私营有限责任公司 ] [ 生产型 ]
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主营：激光打标机, 激光镭雕机, 激光设备配件, 激光雕刻机...
[ 浙江　温州 ]
[ 2014年7月 ]
[ 私营独资企业 ] [ 贸易型 ]
简介：上海荣册贸易有限公司成立于2012年，注册资金100万，我司是卷对卷触摸屏生产设备及以综合解决方案的供应商. 我司提供韩...
主营：LED...
[ 2014年6月 ]
[ 其他 ] [ 贸易型 ]
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[ 个体经营 ] [ 生产型, 贸易型 ]
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[ 广东　东莞 ]
[ 2013年11月 ]
[ 私营独资企业 ] [ 生产型 ]
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[ 2013年9月 ]
[ 私营有限责任公司 ] [ 生产型, 贸易型 ]
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[ 2013年9月 ]
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主营：LED贴片, LED研发...北京亚科晨旭科技有限公司成立于1998 年，专注于微电子封装设备的集成供应和技术服务工作。 公司拥有一批在电子装配、微电子封装及半导体行业有丰富工作经验的专业技术工程师团队为每一位客 户竭诚服务，不仅能为客户提供整套性能可靠的设备，还能根据客户的实际生产情况制订切实可行的工 艺技术方案
先生 （深圳办事处销售经理）&
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北京亚科晨旭科技有限公司
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EVG光刻机,晶圆我键合机,纳米压印设备,LTCC流延机,原子力显微镜,三维光学轮廓仪,台阶仪,纳米压痕仪,多层陶瓷生产设备,粘片机,平行封焊机,键合机,印刷机
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法定代表人/负责人:
北京亚科晨旭科技有限公司&
先生 （深圳办事处销售经理）
地址: 广东 深圳市深圳市南山区科技园汇景豪苑海典阁26A
电话: 86-755-
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Url：/Company/Style1/Home.aspx [IP = FORWARDED：-REMOTE：220.177.198.53-User：220.177.198.53-VIA:], Time： 下 07:27:04高亮度LED步进投影光刻机及其量产应用--《电子工业专用设备》2014年02期
高亮度LED步进投影光刻机及其量产应用
【摘要】：图形化蓝宝石衬底(PSS)工艺在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,并被LED行业大量采用。针对高亮度LED量产线大量采用二手投影光刻机制备PSS衬底所面临的焦深不足、垂向控制容易离焦,以及运动台拼接精度不足等问题导致的PSS良率仅有70%~80%的现象,有针对性地在新研制的高亮度LED光刻机中采用最佳线宽/焦深选择技术、无缝拼接技术、Mapping垂向控制技术,使PSS的制造良率达到95%以上,极大地降低了PSS制造返工成本。同时,针对芯片细电极曝光需求,采用精密机器视觉对准技术,实现了芯片电极层1μm线宽下200 nm套刻精度。
【作者单位】：
【关键词】：
【分类号】：TN305.7【正文快照】：
氮化镓(GaN)具有带隙宽、热导率高、饱和电子速率高、化学性质稳定,以及机械性能好等诸多优点,用其制备的半导体发光器件是一种新型的固体光源,拥有环保节能和色彩纯度高等特性,已成为高新技术领域的发展热点,被广泛应用于交通信号灯、LCD背光源、固态照明、全彩显示屏等领域[
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京公网安备75号&EVG 双面对准光刻机
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