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相关分类导航：2.2 汽化器
是采用空浴式，液氩通过汽化器散热翅片，与空气进行热交换，使液氩汽化输出。汽化后的氩气经缓冲罐后送到使设备，纯度达到工艺要求。放空阀保证储槽内压力不超高；增压阀保证储槽内的压力维持在规定的范围；液氩流量调节阀控制液氩的汽化量，稳定汽化后氩气的压力。
工作压力：≤2.5MPa（G）
汽 化 量：≥120Nm3/h（单台汽化器汽化量）
加热方式：空气
汽化后氩气出口温度：与环境温度温差不大于5℃
主体材质：铝制翅片（LF21-R）
2.3 低温液氩储槽
有效容积： 30m?
设计温度： -186℃
主体材质：内胆0Cr18Ni9 、外胆16MnR
最大工作压力： 0.8MPa（G）
设计压力： 0.88MPa（G）
绝热形式：真空粉末绝热
日蒸发率： &0.30%/ d
2.4 充装液氩步骤
首先对接好液氩充装口与外运槽车充装口之间的输送管道，第一次充装可以从液氩储槽底部充装，或从顶部充装。正常使用时选择顶部充装较好。
关闭增压器出进口手动阀门，打开槽车与冲装口的放空阀门，正常排放2-3分钟，将输送管里的空气排净；打开储罐上进液阀和槽车上进液阀，将储罐里压力排放在槽车里。
将外运槽车的储槽增压到0.70 Mpa左右，微开槽车储槽的出口阀门，打开液氩储槽上进液阀（或下进液阀门），同时缓慢打开液氩储槽放空阀，使液氩储罐压力缓慢降低。
打开槽车储槽出口阀门，使液氩进入储槽，通过放空阀门控制储槽压力，使储槽压力低于外运槽车储槽内压力，利于液氩进入储槽。
充装完成后，先关闭储槽进口阀门，打开充装口排污阀门，关闭外运槽车氩气出口阀门，通过排污口进行泻压，然后拆开连接管道即完成液氩充装工作。
检查液氩储槽所有阀门和接口是否有漏气现象，充装完成后，打开手动增压阀，并保持储罐压力在0.70Mpa以下。
2.5 工艺参数
氩气纯度要求:≥99.999％
氢含量：≤0.1PPmv
氮含量：≤1PPmv
氧含量：≤0.5PPmv
水分含量：≤ 0.2 PPmv
一氧化碳和二氧化碳总含量：≤0.2 PPmv
供气压力：0.47MPa
2.6 工艺流程图
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