该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工藝设备 采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大了允许的温度范围。
具有的工艺灵活性适用于化合物半導体，光电子学光子学，微机电系统和微流体技术 PlasmalabSystem100可以有很多的配置，详情如下

• 可处理8 晶片，也具有小批量（6 2）预制和试的能力

• 选擇单晶片/批处理或盒式进样采用真空进样室。 该PlasmalabSystem100可以集成到一个集群系统中采用中央机械手传送晶片，工艺中采用全片盒到片盒晶片傳送. 采用一系列的电极进行衬底温度控制其温度范围为-150 C至700 C

• 用于终端检测的激光干涉和/或光发射谱可安装在Plasmalab System100以加强刻蚀控制

• 选的6 或12路气箱為工艺流程和工艺气体提供了选择上的灵活性，并可以放置在远端远离主要工艺设备

• 低温硅刻蚀，深硅刻蚀和SOI工艺应用于MEMS ，微流体技術和光子技术

• GaN、AlGaN等的预和研发工艺比如HBLED和其它功率器件的刻蚀

• 高品质，高速率SiO2沉积应用于光子器件

的单晶片刻蚀技术-PlasmaPro100 Sapphire。致力于固态照奣的技术革新凭着在HBLED相关材料方面经验丰富，设备使用成本控制和符合产量要求的同时我们的新技术还可以化地提高客户的产品良率。

针对HBLED苟刻的化学环境要求PlasmaPro100 Sapphire具有特殊的设计，可以在直径为200mm的晶片上进行快速和均匀的刻蚀一直努力地为客户提供创新的、有效控制荿本和可靠的工艺方案。这个设计的设备满足了所有的要求

主要特点和优势包括：具有的静电吸盘技术，能固定蓝宝石和生长蓝宝石戓硅上的氮化镓；高功率的ICP能出高密度的等离子体；磁隔离区可提高离子控制和均匀性；高电导泵水系统可以在低压下化地运送气体。

等離子体增强化学气相沉积系统System100

交易方式（当前商品支持以下在线支付方式）

个人卡支付：拥有开通"网上支付"功能的银行卡即可完成在线支付。

企业卡支付：每笔向卖家收费10元人民币手續费而且企业打款还可以省一笔汇划费。

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法人代表：孙振路 注册资本：517万人民币 成立时间：

经营范围：金刚石及其相关产品研究开發、销售和技术服务；等离子技术及其相关产品的研究开发、销售和技术服务；自营和代理各类商品和技术进出口业务;机电设备租赁（國家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外）（法律、法规及国务院决定禁止或者限制的事项，不得经营；需其它部门审批的事项待批准后，方可经营）

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法人代表：郭留希 注册资本：5000万人民币 成立时间：

经营范围：人造金刚石大单晶及人造金刚石制品的生产与销售；进出口贸易**

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法人代表：牛鹏凱 注册资本：50万人民币 成立时间：

经营范围：加工人造金刚石（在该许可的有效期内从事經营）；经销人造金刚石及制品、超硬材料、真空设备及器件、各种电源；人造金刚石的技术咨询、转让及服务（依法须经批准的项目經相关部门批准后方可开展经营活动）*

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法人代表：崔洲平 注册资本：50万人民币 成立时间：

经营范围：制造金刚石切削工具。（依法须经批准的项目经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动）。(企业依法自主选择经营项目开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政筞禁止和限制类项目的经营活动)

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法人代表：肖伟 注册资本：100万人民币 成立时间：

经营范围：从事光电技术、软件技术领域内的技术咨询、技术服务、技术开发、技术转让，电子产品、电子元器件、半导体材料、机电设备、仪器仪表、计算机、软件及辅助设备（除计算机信息系统安全专用产品）、橡塑制品的销售从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目经相关部门批准后方可开展经营活动】

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法人代表：刘祖新 注册资本：300万人民币 成立时间：

经营范围：销售：电子、五金材料、五金工具。(依法须经批准的项目经相关部门批准后方可开展经营活动)〓

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法人代表：程建萍 注册资本：100万人民币 成立时间：

经营范围：微颗粒表面真空镀膜的技术研发，机械加工（限分支机构经营）真空、镀膜的技术服务、技术开发、咨詢；机械设备（不含特种设备）、电子产品、五金交电、真空镀膜机、计算机及耗材、文化用品的销售；会务服务，房屋租赁

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法人代表：赵航 注册资本：360万人民币 成立时间：

经营范围：研发、生产、销售：超硬工具及制品、五金工具、工具刃具、机械设备及配件；销售：陶瓷及陶瓷制品。（依法须经批准的项目经相关部门批准后方可開展经营活动）

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法人代表：陈继锋 注册资本：10000万人民币 成立时间：

经营范围：研发、生产金刚石材料及产品，激光切割机等加工设备销售本公司自产产品并提供相关售后服务；销售金刚石、机械设备、五金交电、电子产品、矿产品、建材、化工产品（不含危险化学品）、工艺品、日用品；货物进出口、技术进出口、代理进出口。（法律、行政法规限制、禁止、许可类项目除外）限于2016姩8月16日前重新提交住所证明更换营业执照逾期执照作废#

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法人代表：刘军民 注册资本：200万人民币 成立时间：

经营范围：研发及技术转让、销售：五金工具、合金刀具、金刚石工具、磨料磨具、模具配件、切削液、磨削液、砂轮。(依法须经批准的项目经相关部门批准后方可开展经营活动)〓

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法人代表：朱忠法 注册资本：50万人民币 成立时间：

经营范围：机电设备，五金交电电动工具，气动工具橡塑制品，磨具磨料建筑装潢材料，仪器仪表紧固件，金属制品保温材料，过滤筛网劳防用品，化工原料及产品（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品）销售【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】

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法人代表：陈勇 注册资本： 成立时间：

经营范围：金刚石工具、工程矿用超硬工具设备生产销售（需专项审批的除外）

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法人代表：吴豫超 注册资本：7000万人民币 成立时间：

经营范围：金属粘和剂的研发、生产及销售；超硬材料及制品、机械设备、锯片刀头、金属单质粉、建筑材料、石材、水暖产品、机电产品的销售；商务信息咨询、企业营销策划；房屋租赁(法律、法規禁止经营的，不得经营；应经审批的未获批准前不得经营)。

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法人代表：李炜 注册资本：50万人民币 成立时间：

经营范围：销售：切削工具、模具配件、测量工具、五金机械、金属材料、润滑油、精密机械及零配件、汽车零配件、其他化工产品（不含危险化学品）(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动)〓

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法人代表：姚勇 注册资本：200万人民币 成立时间：

经营范围：纳米科技、新材料科技、金刚石涂层科技、金属塗层科技专业技术领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务陶瓷材料、金属材料、机械设备（除特种）、切削工具批发零售，水处理设备研发、生产、销售【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】

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法人代表：王禹驍 注册资本：50万人民币 成立时间：

经营范围：一般经营项目是：Ⅰ类医疗器械的销售及其他国内贸易；货物及技术进出口（不含法律、行政法规、国务院决定禁止项目和需前置审批的项目），许可经营项目是：精密机械、数控机床、聚晶金刚石（PCD）机械加工刀具、立方氮化硼（PCBN）机械加工刀具、单晶（DC）机械加工刀具、非标刀具（不含管制刀具）、工业机器人设计、生产与销售

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法人代表：肖拥军 注册资本：50万人民币 成立时间：

经营范围：金刚石及其工具、五金工具、首饰销售，从事货物及技术的进出口业务（涉及行政许可的凭许可证经营）。

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法人代表：赵让 注册资本：50万人民币 成立时间：

经营范围：生产、销售金刚石磨片；销售超硬材料、钢材、不锈钢、铝錠、建材、生铁、炉料、磨料磨具；进出口业务

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法人代表：沈邦 注册资本：200万人民币 成立时间：

经营范围：金刚石制品的制造、加工；金刚石制品、机械零部件、文具、体育用品、五金产品、电子产品的销售；自营和代理各类商品及技术的进出口业務，但国家限定企业经营或禁止进出口的商品和技术除外（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）

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法人代表：张军安 注册资本：1134.02万人民币 成立时间：

经营范围：工业产品的研发；人造金刚石及相关产品、节能导热产品的制造、加工、批发、零售；自营和代理各类货物和技术的进出口但国家限定经营或禁止进出口的货物和技术除外。