想和您请教半导体行业的厂务管理是做什么的

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2019-06-10 20:51 标签： 厂务管理

半导体厂务系统范围有多大

【2007姩3月4日星期日第一次整理】

【2007年3月18日星期日第二次整理】

【2007年11月25日星期日第三次整理】【2009年2月5日星期四第四次整理，不断更新中…】

洁净室内装修工程：（高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无尘涂装、环氧地坪等）、压差控制系统、ESD防静电等；

b,循环空调系统（包括部分供热与通风系统比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.）；

c,中央动力，c u：Mechenical（热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施）；--有些fab把中央动力归入cleanroom、而有的FAB确反之把C/R划入机械空调、也有像本公司这样，干脆把CU 和C/R 分开；这些划分都是可以的无所謂对错。

d,Hook up（一次、两次管路系统）、支吊架系统、FOUNDATION 防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.；

Bulk Gas：GAS YARD气站CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然气）【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空氣（CDA）--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA供应系统分开、呼吸空气供应系统等；

a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水（RO水）供应系統etc.

b,工艺废水处理（酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ）

c,办公用给排沝系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc

a,工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.[有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系統]

b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类(1)电热

内容提示：XX 半导体公司厂务系统 TQM 應用研究6522

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