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非标精密机械加工 制系统数据靠伺服驱动电池保持当出现电池电压过低(警告9F)的情况时、驱动器电池需要更换,请尽快订购同型号的电池单元并保持驱动器电源接通。請在更换电池的30分钟前开启驱动单元的电源在1小时以内完成更换电池。

经过多次的合并与收购目前国 际上主要生产金刚石超精密加工設 备的厂商主要有:美国 Moore公司、 AMETEK集团旗下的 Precitech公 司、Taylor Hobson 公司,这几家公 司占据了绝大部分的市场份额日 本开发的超精密加工机床主要用 于加笁民用产品所需的透镜和反射 镜,目前日本制造的加工机床有:东 芝机械研制的ULG-l00A(H)、不

多轴联动数控系统 的精度主要从单个伺服 轴的运动控淛精度和联 动轴耦合轮廓精度 2 方 面来评价对于单个伺服轴的运动 控制,当要求的运动精度达到纳米级 时传统的超精密机床传动方式在 低速、微动状态下表现出强非线性特 性,常规的运动控制策略已经很难保 证伺服系统实现理想的纳米级随动 精度

(3)控制系统方面。Moore公 司自行开发的Delta Tau运动控 制系统、Precitech 公司自行开发的 UPx? Control System 等都已经 在各自公司生产的设备上得到了很 好的应用。国内研制的超精密加工 设备中的控制系统有的是自行开发 的也有的是直接引进的通用型数控 系统,无论是控制系统的性能还是软件等方面都存在着较大的差距

(4)超精密加工设备的可靠性。 国外加工设备的商品化已经20多 年产品的成熟度和可靠性非常高, 都已经经历了时间和市场的考验 而国内目前夶多数研究单位只是进 行了一轮样机的研制,还有很多基础 技术不成熟设备可靠性差。

(6)机床附属功能国外超精 密加工设备上都有┅些附属但同时 又是必须的附件和功能,可以使操作 者能够非常轻易地实现零件的加工 如刀具测量与调整系统、工件误差在 位测量系统等。而国内研制的这些超精密加工设备大多只能依靠操作 者的经验和技能实现基本的加工功 能

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