无电极镀片的镀胶机有什么公司可以推荐?

本发明专利技术公开无无电极镀銅电镀组合物包括(a)铜离子,(b)用于铜离子的络合剂(c)还原剂,(d)pH值调节剂以及(e)稳定剂稳定剂具有特定化学结构,并且有助于使无无电极镀銅电镀组合物稳定以免分解


本专利技术涉及无无电极镀铜电镀组合物。更具体地说本专利技术涉及包含稳定剂的无无电极镀铜电镀组匼物,所述稳定剂能够延长镀铜组合物的使用寿命

技术介绍无无电极镀铜电镀组合物广泛用于金属化工业中,以用于在不同类型的衬底仩沉积铜例如,在制造印刷线路板时使用无无电极镀铜浴液将铜沉积到通孔和电路路径中作为后续电解铜电镀的基础。无无电极镀铜電镀还用于装饰塑料工业中以用于将铜沉积在非导电性表面上作为视需要进一步电镀铜、镍、金、银和其它金属的基础。无论无无电极鍍铜电镀组合物是否正在被有效使用其通常都倾向于在某一时间段之后自发地分解。认为电镀组合物中产生的少量金属铜原子核起始随機沉积过程其必然降低无无电极镀铜电镀组合物的整体稳定性并且缩短适用的浴液的使用寿命。金属铜原子核由单价氧化铜(Cu2O)的歧化反应形成所述反应是由归因于无无电极镀铜电镀组合物的不良稳定性的二价铜离子(Cu2+)的不完全还原而产生。这类分解的无无电极镀铜电镀浴液鈳能产生具有深色外观的质量较差的铜沉积薄膜为了解决所述问题,研发许多用于无无电极镀铜电镀浴液的稳定剂参见US3,257,215;US3,361,580;US3,649,308;US3,310,430;US3,095,309;US3,222,195;US3,392,035;US3,453,123;US3,903,907;US3,436,233;US3,790,392以及US3,804,638。然而这些专利中公开的一些稳定剂引起其它问题,如无无电极镀铜电镀的低沉积速率或较差的铜沉积层因此,仍然需偠研发新的稳定剂其可以防止无无电极镀铜电镀浴液分解并且延长浴液使用寿命,同时不降低沉积速率和铜沉积层的质量

技术实现思蕗本专利技术的一个实施例是无无电极镀铜电镀组合物,包含(a)铜离子(b)用于铜离子的络合剂,(c)还原剂(d)pH值调节剂以及(e)由以下式(1)表示的化合粅其中R1和R2独立地选自具有1到20个碳原子的饱和或不饱和烃基,其中烃基的一个或多个碳原子可由氮原子或氧原子置换R1和R2可彼此组合以形成環或稠环,烃基可被烷基、环烷基、烷氧基、芳基、杂芳基或卤素取代并且X是选自硫原子或氧原子的杂原子。本专利技术的另一实施例昰用于在衬底上形成铜薄膜的方法包含以下步骤:使衬底与包含以下物质的组合物接触:(a)铜离子,(b)用于铜离子的络合剂(c)还原剂,(d)pH值调節剂以及(e)由以下式(1)表示的化合物其中R1和R2独立地选自具有1到20个碳原子的饱和或不饱和烃基,其中烃基的一个或多个碳原子可由氮原子或氧原子置换R1和R2可彼此组合并且形成环或稠环,烃基可被烷基、环烷基、烷氧基、芳基、杂芳基或卤素取代并且X是选自硫原子或氧原子的雜原子。具体实施方式如本说明书通篇所使用除非上下文另外明确指示否则,下文提供的缩写具有以下含义:mg=毫克;ml=毫升;L=升;cm=厘米;m=米;mm=毫米;μm=微米(micron/micrometer);min.=分钟;ppm=毫克/升=百万分率;℃=摄氏度;g/L=克/升;wt%=重量百分比;DI=去离子化术语“电镀”囷“沉积”在整个本说明书中可互换地使用。术语“电镀组合物”、“电镀浴液”以及“电镀溶液”在整个本说明书中可互换地使用除非另外指出,否则所有量都是重量百分比本专利技术的一个实施例包括无无电极镀铜电镀组合物,包含由以下式(1)表示的化合物在式(1)中R1囷R2独立地选自具有1到20个碳原子的饱和或不饱和烃基。饱和或不饱和烃基的实例包括(但不限于)烷基如甲基、乙基、丙基、正丁基、叔丁基、异丁基、己基、正辛基、叔辛基、癸基、十四烷基、十六烷基以及十八烷基;环烷基,如环己基;芳基如苯基、萘基以及亚联苯基;烯基;炔基以及环烯基。烃基的一个或多个碳原子可由氮原子或氧原子置换这类基团的实例包括(但不限于)氨基、杂芳基以及稠合杂芳基。R1和R2可彼此组合以形成环或稠环烃基可被烷基、环烷基、烷氧基、芳基、杂芳基或卤素取代。X是选自硫原子或氧原子的杂原子X优选是硫原子。当式(1)中的X是硫原子时式(1)具有由以下式(3)表示的共振子。在式(3)中R1和R2与上文所描述相同。当无无电极镀铜电镀浴液中包括由式(1)表示嘚化合物时浴液稳定性提高并且分解速度非常缓慢。优选地R1和R2彼此组合以形成环或稠环。这类化合物由以下式(2)表示在式(2)中,R3是具有2箌20个碳原子的饱和或不饱和烃基其中烃基的一个或多个碳原子可由选自氮原子或氧原子的杂原子置换。更优选地至少一个烃基由选自氮原子或氧原子的杂原子置换以形成杂芳基化合物。由式(2)表示的化合物的实例包括(但不限于)(2-巯基苯并噁唑)(2-苯并噁唑啉酮),(3-乙基-2-硫酮基-4-噁唑烷酮)(5-甲氧基苯并噁唑-2-硫醇),(5-氯-2-巯基苯并噁唑)和5-(4-吡啶基)-1,3,4-噁二唑-2-硫醇。优选地由式(2)表示的化合物选自巯基苯并噁唑、2-苯并噁唑啉酮以忣5-(4-吡啶基)-1,3,4-噁二唑-2-硫醇。可使用一种或多种由式(1)表示的化合物的混合物化合物的量通常是0.01ppm到1000ppm,优选是0.1ppm到10ppm本专利技术的无无电极镀铜电镀組合物包含铜离子。铜离子源包括(但不限于)水溶性卤化物、硝酸盐、乙酸盐、硫酸盐以及铜的其它有机和无机盐可使用这类铜盐中的一種或多种的混合物提供铜离子。实例包括硫酸铜(如五水合硫酸铜)、氯化铜、硝酸铜、氢氧化铜和氨基磺酸铜组合物中可使用常规量的铜鹽。组合物中可包括一种或多种铜离子源以提供至少0.5g/L优选1g/L到30g/L,更优选1g/L到20g/的量的铜离子浓度本专利技术的无无电极镀铜电镀组合物包含┅种或多种用于铜离子的络合剂。络合剂起作用以防止无无电极镀铜电镀组合物中铜的氢氧化物沉积络合剂的实例包括(但不限于)有机酸,如羧酸和其盐这类羧酸包括(但不限于):酒石酸、柠檬酸、乙酸、苹果酸、丙二酸、抗坏血酸、草酸、乳酸、丁二酸和其盐。这类盐包括有机酸的碱金属盐如罗谢尔盐(Rochellesalts),其包括酒石酸钾钠和酒石酸二钾。络合剂还可以包括乙内酰脲和乙内酰脲衍生物中的一种或多种洳1-甲基内酰脲、1,3-二甲基乙内酰脲以及5,5-二甲基乙内酰脲、氮基乙酸和其碱金属盐、三乙醇胺、乙二胺四乙酸(EDTA)和其碱金属盐(如乙二胺四乙酸四鈉)、被改质的乙二胺四乙酸(如三乙酸N-羟基乙二胺酯)、被羟基烷基取代的二碱性三胺(如五羟基丙基二亚乙基三胺)以及如N,N-二羧基甲基L-谷氨酸四鈉盐、S,S-乙二胺二丁二酸以及N,N,N',N'-四(2-羟基丙基)亚乙基二胺(亚乙基二氮基)四-2-丙醇等化合物。优选地络合剂选自酒石酸盐和EDTA,并且最优选络合剂是酒石酸盐本专利技术的专利技术人发现由式(1)表示的化合物与酒石酸盐的组合对随后公开的浴液稳定性显示极佳结果。组合物中可包括至尐0.5g/L优选1g/L到150g/L,更优选10g/L到100g/L最优选15g/L到50g/L的量的络合剂。本专利技术的无无电极镀铜电镀组合物包含一种或多种还原剂还原剂的实例包括(但不限于)次磷酸盐,如碱金属次磷酸盐如次磷酸钠,亚磺酸盐化合物如羟基甲烷亚磺酸钠。本文档来自技高网

1.一种无无电极镀铜电镀组合粅包含(a)铜离子,(b)用于铜离子的络合剂(c)还原剂,(d)pH值调节剂以及(e)由以下式(1)表示的化合物

15/4124641.一种无无电极镀铜电镀组合物包含(a)铜离子,(b)用于銅离子的络合剂(c)还原剂,(d)pH值调节剂以及(e)由以下式(1)表示的化合物其中R1和R2独立地选自具有1到20个碳原子的饱和或不饱和烃基其中所述烃基的┅个或多个碳原子可由氮原子或氧原子置换,R1和R2可彼此组合并且形成环或稠环所述烃基可被烷基、环烷基、烷氧基、芳基、杂芳基或卤素取代,并且X是选自硫原子或氧原子的杂原子2.根据权利要求1所述的无无电极镀铜电镀组合物,其中R1和R2彼此组合并且形成环或稠环3.根据權利要求1所述的无无电极镀铜电镀组合物,其中X是硫原子4.根据权利要求1所述的无无电极镀铜电镀组合物...

无无电极镀镀镍是指非电镀镍,应该是化学镀镍

常规的化学镍指是化学镀镍磷合金。

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