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来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2018-08-02 22:05 标签： 成都鲸鱼肚微光餐厅
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&&&体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究
体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究
本文对体硅微机械光开关的设计与制作工艺进行了研究。文章提出的8×8光开关阵列的研究方案具有可以同时实现微反射镜的镜面平整垂直、各单元的微镜平面平行、扭臂的结构尺寸准确控制等优点。这种设计方案和工艺路线是目前我们所见到的MOEMS光开关工艺中最为简单的，它不仅能简化工艺流程，提高成品率，降低制作成本，更重要的是提高光开关的制作精度，降低光损耗，容易做成阵列，实现光开关阵列的实用化生产。
摘要： 本文对体硅微机械光开关的设计与制作工艺进行了研究。文章提出的8×8光开关阵列的研究方案具有可以同时实现微反射镜的镜面平整垂直、各单元的微镜平面平行、扭臂的结构尺寸准确控制等优点。这种设计方案和工艺路线是目前我们所见到的MOEMS光开关工艺中最为简单的，它不仅能简化工艺流程，提高成品率，降低制作成本，更重要的是提高光开关的制作精度，降低光损耗，容易做成阵列，实...&&
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快速查看收藏过的文献年轻学子与“美的微光”--《编辑学刊》2016年04期
年轻学子与“美的微光”
【摘要】：正"五一"节前,上海纽约大学有一场讲座,是美国来的讲师,谈的是台湾儿童文学。我有幸受邀参加,对这个题目也很有兴趣。讲座结束前,我提了两个问题,引起了一些讨论。没想到的是,讲座一散场,一群纽约大学的学生立刻围上了我,问我是哪个大学的,平时教什么课。我只好如实相告,我不在大学工作,只能算儿童文学爱好者。我猜他们一定会失望而去,不料有几位还是围着我继续讨论,除关于儿童文学的问题,问得最多的是:"您觉得我们这个年龄,应该读什么书?"
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