请教SEM与AFM与FIB道德与法的区别与联系系

FIB的原理与SEM相似,
发布时间: 20:16:47
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&& FIB的原理与SEM相似,主要差别在于FIB使用离子束作为人射源,ΠB的外加电场作用于液态金属离子源, 使液态金属或合金形成细小尖端,再加L负电场牵引尖端的技术或合金,导出离子束,通过静电透镜聚焦,经过一连串可变化孔径改变离子束大小,然后用质量分析器筛选出所要的离子种类,最后通过八极偏转装置及物镜将离子束聚焦在样品卜许扪 描.离子束轰击样品,产生二次电子和离子被收集作为影像的来源,或用物理碰撞来实现切割汀。而离子束比电子具有更大的电量及质量,当其人射到固态样品卜时会造成一连串的撞击及能量传递,且在样品表面发牛气化、离f化等现象,并溅出巾性原f、离子、及电磁波刊攵集离子束轰击样″:产生的二次电子和△次离f.获得聚焦离f束眼微图像,HB系统亦可视为利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器.离f束喷溅LJ有机气体协作则可完成导体沉积。双束「IB系统,在以离子束切割时.用电了束观察影像,除r可避免离f束继续Ⅱ破坏现场”外,尚可有效地提高影像分辨率。商川场发射双束聚焦离F束系统.如Dual bcam833.其扫捕电镜分辨率可达sFm。同时也叮配备、光能谱分析仪或(I工次离子质谱仪),作尢素分析之用,多样化的分析功能使得聚焦离子束私微镜的便利性及使用率大幅捉升。
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循线机器人是机器人入门和比赛最常用的控制方式,...& FIB(聚焦離子束)FIB(聚焦離子束)儀器使用聚焦良好的離子束對感興趣的樣品作修改與取得圖像。FIB主要是在通過SEM、STEM和TEM成像後,取得非常精確的樣品橫截面或是執行電路修改。此外,FIB可以偵測來自離子束或電子束的發射電子,用於直接成像。FIB的對比度機制與SEM和S/TEM有所不同,因此在某些情況下就可以獲得獨特的結構資訊。Dual Beam是將FIB/SEM兩種技術結合成一個工具,利用FIB準備樣品並且使用SEM、TEM或STEM儀器得到電子影像, 而Single Beam的FIB是只有一個離子束源。
FIB是一種樣品製備工具,可以準確地製造出樣品的橫截面:
FIB為TEM樣品提供革命化的樣品製備方法,可以辨別~&m等級的特點以及精確地製作橫截面
FIB製備樣品被廣泛使用在SEM,其中FIB製樣,SEM成像和元素分析可以發生在同一個多技術的機台中
在AES中也可以使用FIB製備樣品,能快速而精確地提供進表面的元素鑑別
當樣品為小面積且難以獲取時FIB是理想工具,這種情況常出現在半導體行業以及需對表面下顆粒做鑑別
對於很難獲得橫截面的產品來說,FIB是很好的選擇,例如很難拋光的軟性聚合物
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SEM、STEM和TEM樣品製備
對於微小和難以獲取的樣品特性提供高解析度橫截面
通過原位夾出得到微型取樣
偵測訊號: 電子、二次離子、X射線和光(陰極發光)
影像/mapping:是
橫向解析度/偵測尺寸:7nm(離子束);20nm(電子束)
對微小目標取得橫面的最佳方法
可快速取得高解析度影像
良好的晶粒造影
支援許多其他工具的通用平台
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取得離子影像會破壞樣品表面,影響後續分析
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AFM与SEM的区别
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有人知道吗
我想测晶体的形状
用两个都可以
还是只有SEM可以?
还有两者在使用上有什么区别啊
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相对于扫描电子显微镜,原子力显微镜具有许多优点。不同于电子显微镜只能提供二维图像,AFM提供真正的三维表面图。同时,AFM不需要对样品的任何特殊处理,如镀铜或碳,这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。第三,电子显微镜需要运行在高真空条件下,原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样可以用来研究生物宏观分子,甚至活的生物组织。
  和扫描电子显微镜(SEM)相比,AFM的缺点在于成像范围太小,速度慢,受探头的影响太大
上面是网上找的,
afm没用过。
但sem可以满足你的要求了。
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楼上说得狠清楚了!
测晶体的形状两个都可以作,还是只有SEM也可以。
看看这篇文章!
[ 本帖最后由 uway 于
15:55 编辑 ]
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我知道用sem可以
现在想知道afm是不是也可以
或者说想知道afm的局限
必然sem可以扫描出大量晶体在一起的形状
而afm是不是一下只能测到一个晶体啊
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&求SEM.TEM、AFM的区别与各自的应用
求SEM.TEM、AFM的区别与各自的应用
作者 只是这样而已
研一新生什么也不懂,越详细越好,谢谢各位!
SEM为扫描电镜,可以观察物质的表面形貌,TEM为透射电镜,不仅可以得到形貌,还可以得到电子衍射图。AFM为原子力显微镜,也就是说,通过软接触,相当于能得到物质的三维结构。大概就是这样。
引用回帖:: Originally posted by zzxw520th at
SEM为扫描电镜,可以观察物质的表面形貌,TEM为透射电镜,不仅可以得到形貌,还可以得到电子衍射图。AFM为原子力显微镜,也就是说,通过软接触,相当于能得到物质的三维结构。大概就是这样。 能不能更加详细点啊,不懂,
我有关于仪器测试的课件,可以给你发邮件,因为我根本用不好网盘
SEM为扫描电镜,可以观察物质的表面形貌,TEM为透射电镜,不仅可以得到形貌,还可以得到电子衍射图,还可以看忖度,AFM为原子力显微镜,也就是说,通过软接触,相当于能得到物质的三维结构。另外一半TEM放大倍数比SEM高一些!
这个不难查吧。维基,百度一大把
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fib聚焦离子束和sem设备的区别
我有更好的答案
注: 并非用Ga+才叫FIB(In, Au.AsPd2),只是大多数商用FIB都是用Ga,因为-?(整理好在写).Focused(聚焦): 将离子束聚焦Ion(离子): Ga --- Ga+Beam(束):很多离子往同一路径(方向)移动________________________________________聚焦太阳光(光束)。
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